Giới thiệu về cảm biến áp suất

Cảm biến áp suất là một thiết bị hoặc thiết bị có khả năng cảm nhận tín hiệu áp suất và chuyển đổi tín hiệu áp suất đó thành tín hiệu điện đầu ra sẵn có theo một quy luật nhất định.

Cảm biến áp suất thường bao gồm bộ phận cảm biến áp suất và bộ xử lý tín hiệu. Cảm biến áp suất có thể được chia thành cảm biến áp suất đo, cảm biến áp suất chênh lệch và cảm biến áp suất tuyệt đối.

Cảm biến áp suất là cảm biến được sử dụng phổ biến nhất trong thực tế công nghiệp, được sử dụng rộng rãi trong nhiều môi trường điều khiển tự động công nghiệp, liên quan đến thủy lợi, thủy điện, giao thông đường sắt, tòa nhà thông minh, điều khiển tự động sản xuất, hàng không vũ trụ, quân sự, hóa dầu, giếng dầu, năng lượng điện , tàu thủy, máy công cụ, đường ống và các ngành công nghiệp khác. Dưới đây là một số nguyên tắc cảm biến phổ biến và ứng dụng của chúng. Ngoài ra còn có cảm biến áp suất y tế.

Thể loại:

Cảm biến áp suất là một trong những cảm biến được sử dụng rộng rãi nhất. Cảm biến áp suất truyền thống chủ yếu là một thiết bị có kết cấu cơ học, sự biến dạng của phần tử đàn hồi biểu thị áp suất, nhưng kích thước kết cấu lớn, khối lượng nặng và không thể cung cấp đầu ra điện. Với sự phát triển của công nghệ bán dẫn, cảm biến áp suất bán dẫn cũng ra đời. Nó được đặc trưng bởi kích thước nhỏ, trọng lượng nhẹ, độ chính xác cao và đặc tính nhiệt độ tốt. Đặc biệt với sự phát triển của công nghệ MEMS, cảm biến bán dẫn đã phát triển đến mức thu nhỏ, tiêu thụ điện năng thấp và độ tin cậy cao.

1. Máy phát áp suất silicon khuếch tán.

Bộ truyền áp suất silicon khuếch tán được chế tạo bằng cách đóng gói các phần tử nhạy cảm với áp suất silicon cách ly trong vỏ bằng thép không gỉ. Nó có thể chuyển đổi áp suất chất lỏng hoặc khí cảm nhận thành đầu ra điện tiêu chuẩn.

2. Loại áp điện bán dẫn.

Cảm biến áp suất khuếch tán trở kháng áp điện bán dẫn tạo thành áp suất biến dạng bán dẫn trên bề mặt của wafer và làm biến dạng wafer bởi ngoại lực (áp suất), dẫn đến hiệu ứng trở kháng áp điện và chuyển đổi sự thay đổi trở kháng thành tín hiệu điện.

3. Loại công suất tĩnh điện.

Cảm biến áp suất công suất tĩnh điện là để tạo thành điện dung giữa cực cố định của thủy tinh và cực di động của silicon, đồng thời chuyển đổi sự thay đổi công suất tĩnh điện do biến dạng của cực di động thành tín hiệu điện.